硅片切割機(jī)是一種用于將硅棒切割成薄片的專業(yè)設(shè)備,這些薄片即硅片,是制造集成電路、太陽能電池等電子器件的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料。在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和光伏產(chǎn)業(yè)中,硅片切割機(jī)起著至關(guān)重要的作用,它直接影響著硅片的質(zhì)量和生產(chǎn)效率,進(jìn)而影響整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈的成本和性能。
通過一根或多根高速運(yùn)動(dòng)的金屬絲(如鉬絲),在金屬絲與硅棒之間施加電火花脈沖,利用脈沖放電產(chǎn)生的高溫蝕除硅材料,實(shí)現(xiàn)切割。線切割可以切割出較薄的硅片,且切割精度較高,適用于對(duì)精度要求較高的半導(dǎo)體硅片切割
通過一組平行排列的切割線,在切割過程中,切割線高速運(yùn)動(dòng)并與硅棒接觸,實(shí)現(xiàn)硅片的切割。多線切割機(jī)可以同時(shí)切割出多個(gè)硅片,生產(chǎn)效率高,切割精度也較高,是目前硅片切割領(lǐng)域的主流設(shè)備。